外部シード固相エピタキシーにおける Si 表面の平担化処理効果

辻本,  博; ツジモト, ヒロシ; 土居,  功年; ドイ, アツトシ; 吉田,  典生; ヨシダ, ノリオ; 中田,  淳一; ナカタ, ジュンイチ; 藤林,  肇次; フジバヤシ, ケイジ

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アイテム

外部シード固相エピタキシーにおける Si 表面の平担化処理効果

https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/8325

Item type

☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)

公開日

2009-06-09

タイトル

外部シード固相エピタキシーにおける Si 表面の平担化処理効果

その他（別言語等）のタイトル

その他のタイトル

Effect of Surface Roughness on External Seed Solid Phase Epitaxy of SOI Structure

著者

言語

jpn

キーワード

主題

surface roughness, pH, SPE, external seed, SOI glass substrate

資源タイプ

資源タイプ識別子

http://purl.org/coar/resource_type/c_6501

資源タイプ

departmental bulletin paper

アクセス権

metadata only access

アクセス権URI

http://purl.org/coar/access_right/c_14cb

著者(英)

言語

値

Tsujimoto, Hiroshi

著者(英)

言語

値

Doi, Atsutoshi

著者(英)

言語

値

Yoshida, Norio

著者(英)

言語

値

Nakata, Junichi

著者(英)

言語

値

Fujibayashi, Keiji

著者所属

値

近畿大学工学研究科

著者所属

値

近畿大学理工学部電気工学科

著者所属

値

リコー(株)

著者所属

値

近畿大学理工学部電気工学科

著者所属

値

近畿大学理工学部電気工学科

版

出版タイプ

出版タイプResource

http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43

出版者名前

出版者

近畿大学理工学部

書誌情報

近畿大学理工学部研究報告
en : Journal of the Faculty of Science and Technology, Kinki University

号 29, p. 121-125, 発行日 1993-10-01

ISSN

収録物識別子タイプ

ISSN

収録物識別子

03864928

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外部シード固相エピタキシーにおける Si 表面の平担化処理効果

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× 土居, 功年

× 吉田, 典生

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