@article{oai:kindai.repo.nii.ac.jp:00008325, author = {辻本, 博 and 土居, 功年 and 吉田, 典生 and 中田, 淳一 and 藤林, 肇次}, issue = {29}, journal = {近畿大学理工学部研究報告, Journal of the Faculty of Science and Technology, Kinki University}, month = {Oct}, pages = {121--125}, title = {外部シード固相エピタキシーにおける Si 表面の平担化処理効果}, year = {1993}, yomi = {ツジモト, ヒロシ and ドイ, アツトシ and ヨシダ, ノリオ and ナカタ, ジュンイチ and フジバヤシ, ケイジ} }