WEKO3
アイテム
次世代オプトエレクトロニクス基板の原子スケール平坦化技術の開発
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/2950
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/29504bc4ea6f-e621-4837-abe2-05cd0b161e64
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
24760110seika.pdf (693.1 kB)
|
|
| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2015-11-19 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 次世代オプトエレクトロニクス基板の原子スケール平坦化技術の開発 | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Development of polishing method for next-generation opt-electronic materials producing atomically-smooth surfaces | |||||
| 著者 |
村田, 順二
× 村田, 順二× 服部, 梓 |
|||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 窒化ガリウム | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 研磨加工 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 触媒 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | エッチング | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| 著者(英) | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 値 | MURATA, Junji | |||||
| 著者(英) | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 値 | HATTORI, Azusa | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 近畿大学理工学部; 講師 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 大阪大学産業科学研究所; 助教 | |||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||
| 値 | Kinki University | |||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||
| 値 | Osaka University | |||||
| 著者 役割 | ||||||
| 値 | 研究代表者 | |||||
| 著者 役割 | ||||||
| 値 | 研究協力者 | |||||
| 著者 外部リンク | ||||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/d/r/70531474.ja.html | |||||
| 著者 外部リンク | ||||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/d/r/80464238.ja.html | |||||
| 版 | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 名前 | ||||||
| 出版者 | 近畿大学 | |||||
| 書誌情報 |
科学研究費助成事業研究成果報告書 (2014. ) p. 1-4, 発行日 2014-01-01 |
|||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 研究成果の概要（和文): 本研究では, 触媒を用いた化学エッチングを応用した微粒子・薬液フリー平坦化法を開発し, 既存の技術では実現することが困難であったダメージレス超平坦GaN表面を高能率かつ安定的に創生することを目的とした研究開発を実施した. その結果, 2インチ基板の全面にわたって既存の技術では到達が困難である原子レベルの平坦な表面が得られた. また, 加工時間を数十時間から60分程度までに短縮することができた. 本加工法によって得られたGaN表面は優れた結晶性や発光特性, 電気特性を有することが明らかとなった. 研究成果の概要（英文): In this research, a novel abrasive-free polishing process for GaN surface utilizing a chemical etching with catalyst has been developed to obtain damage-free and super-smooth GaN surfaces with a high removal efficiency. Atomically-smooth surface can be achieved over an entire wafer (2 inch in diameter) surface by the proposed method. The polishing duration to obtain a flat GaN surface were reduced from several tens of hours to approximately 60 min compared with a conventional polishing method. The processed GaN surface showed a superior crystallographic, luminescence and electrical properties to that processed by a mechanical polishing. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究種目：若手研究(B); 研究期間：2012～2014; 課題番号：24760110; 研究分野：精密加工学; 科研費の分科・細目： | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Research Paper | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
