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材料プロセス工学研究室
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/2001278
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/200127881ad2427-9863-46ac-b070-188e9c1a4907
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
Research_Activity_and_Results-2024-matsutani.pdf
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| Item type | 研究内容・研究成果(1) | |||||
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| 公開日 | 2024-05-17 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 材料プロセス工学研究室 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Material Process Engineering Lab. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 作成者 |
松谷, 貴臣
× 松谷, 貴臣 |
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| キーワード | ||||||
| 主題 | プラズマ, イオンビーム, 環境セル型透過電子顕微鏡, 隔膜, 窒化物薄膜 Plasma, Ion Beam, Environmental-cell Transmission Electron Microscopy, Diaphragm, Nitride Thin Film |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 極薄膜の環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜をイオンビームやプラズマを用いて開発した。 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究内容 ［１］パルスパラメータ可変型磁場援用パルスプラズマ源の開発と環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発 ［２］イオンビームを用いた有機物質表面改質による極薄窒化物隔膜の開発 |
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| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | NA | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||
