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アイテム
パルスプラズマ化学気相成長法を用いた環境セル透過電子顕微鏡用隔膜の開発
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/13974
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/139740e7ead8f-6794-4567-9e98-8e54c6d4cb27
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KAKEN_23560808seika.pdf (592.5 kB)
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| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-09-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | パルスプラズマ化学気相成長法を用いた環境セル透過電子顕微鏡用隔膜の開発 | |||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Development of Diaphragm for Environmental Cell Transmission Electron Microscope by Pulse Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition | |||||
| 著者 |
松谷, 貴臣
× 松谷, 貴臣× 川﨑, 忠寛 |
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| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 化学気相成長法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 隔膜 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 環境セル | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 透過型電子顕微鏡 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | プラズマ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 触媒反応 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | アモルファス | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 金ナノ粒子 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| 著者(英) | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 値 | MATSUTANI, Takaomi | |||||
| 著者(英) | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 値 | KAWASAKI, Tadahiro | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 近畿大学理工学部; 准教授 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 名古屋大学工学部; 助教 | |||||
| 著者 役割 | ||||||
| 値 | 研究代表者 | |||||
| 著者 役割 | ||||||
| 値 | 連携研究者 | |||||
| 著者 外部リンク | ||||||
| 関連名称 | http://kaken.nii.ac.jp/d/r/00411413.ja.html | |||||
| 著者 外部リンク | ||||||
| 関連名称 | http://kaken.nii.ac.jp/d/r/10372533.ja.html | |||||
| 版 | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 名前 | ||||||
| 出版者 | 近畿大学 | |||||
| 書誌情報 |
科学研究費助成事業研究成果報告書 (2013. ) p. 1-5, 発行日 2013-01-01 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 研究成果の概要(和文): 近年, 透過電子顕微鏡を使用し, 金属酸化物に担持された金ナノ粒子の触媒の反応機構や生体試料等を各雰囲気化で観察する試みがなされている. この方法は, 試料ホルダーに環境セルと呼ばれる容器を取り付けで行われる. 電子線の発生は, 高真空で行われるため, 電子顕微鏡鏡筒内と環境セルの間には, 電子線を透過し, かつ雰囲気圧力に耐えうる隔膜が必要となる. 本研究では, 電子散乱が少なく, 化学的安定で機械的強度が高いアモルファスの窒素炭化ホウ素や窒素炭化ケイ素を環境セル用隔膜として使用することを試み, パルスプラズマ化学気相成長法により作製した.その結果, 耐圧性に富み, 電子線に対して透明なアモルファス膜の開発に成功した. 研究成果の概要(英文): Recently, it was reported that gold particles of less than 10 nm in diameter exhibit unique catalytic properties. Transmission electron microscopy (TEM) is useful for analyzing structures at the atomic level, but as specimens are conventionally placed under a strong vacuum, it is difficult to examine directly the relationship between the observed structures and catalytic behavior, which requires instead observation of the catalyst under reaction gas conditions. The environmental-cell (E-cell) TEM system includes a specimen holder with a small chamber to isolate the vacuum around the TEM from the reaction gas atmosphere around the specimen by means of a diaphragm. The present study turns attention to the use of amorphous boron nitride and silicon nitride films in the diaphragm gm of the E-cell TEM. The films were prepared using pulse plasma enhanced chemical vapor deposition. The films which were high hardness, amorphous and transparent at 200 kV electron were successfully developed. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究種目：基盤研究（C）; 研究期間：2011～2013; 課題番号：23560808; 研究分野：工学 ; 科研費の分科・細目：材料工学・無機材料・物性 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Research Paper | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
