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アイテム
レーザーを用いた新しいDLCコーティング法
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/9589
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/95897d1dc2b6-0696-4e9f-8930-6123dcb252d1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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AN00064168-20060930-0081.pdf (1.4 MB)
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| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-10-26 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | レーザーを用いた新しいDLCコーティング法 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | New DLC Coating Method by Pulsed Laser Deposition | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
北川, 正憲
× 北川, 正憲
× 溝口, 佳宏
× 橋新, 裕一
× 中山, 斌義
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| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題 | Diamond like carbon, Pulsed laser deposition, Buffer layer | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | Kitagawa, Masanori | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | Mizoguchi, Yoshihiro | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | Hashishin, Yuichi | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | Nakayama, Takeyoshi | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学大学院総合理工学研究科 | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学大学院総合理工学研究科 | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気電子工学科 | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気電子工学科 | |||||||||||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学理工学部 | |||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
近畿大学理工学部研究報告 en : Journal of the Faculty of Science and Engineering, Kinki University 号 42, p. 81-85, 発行日 2006-09-01 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 03864928 | |||||||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Diamond like carbon (DLC) film has the feature which is excellent in high hardness and low friction. Adhesion strength of DLC film to a substrate, however, is not so strong, because the misfit of the lattice constant between the substrate and the film. In this reason, an application of DLC film is frequently limited. In this research, we developed the method of improving adhesion by forming the buffer layer between a substrate and a DLC film to relieve the misfit. By devising the target used for pulsed laser deposition (PLD) method, we achieved a formation of DLC film having a high adhesion strength on Si substrate. | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | レーザー学会学術講演会第26回年次大会発表（2006年2月, 大宮） 本文データの一部はCiNiiから複製したものである。 |
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| フォーマット | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||||||
