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アイテム
Stable and Quick Responding Humidity Metal-oxide Thin Films Containing Zeolite
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/9588
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/95888b1ce13f-12e7-4810-8ece-31af9b1f2a2c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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AN00064168-20060930-0073.pdf (2.2 MB)
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| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-10-26 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Stable and Quick Responding Humidity Metal-oxide Thin Films Containing Zeolite | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||
| その他のタイトル | 安定で湿度応答特性のよい金属酸化物-ゼオライト薄膜 | |||||||||||||||||
| 著者 |
児玉, 淳一
× 児玉, 淳一
× 藤本, 英昭
× 荻野, 邦彦
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| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 主題 | Metal-oxide, Zeolite, Thin film, Humidity sensor, Quick response, Stability, Reproducibility | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Kodama, Junichi | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Fujimoto, Hideaki | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Ogino, Kunihiko | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気電子工学科 | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気電子工学科 | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部機械工学科 | |||||||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学理工学部 | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
近畿大学理工学部研究報告 en : Journal of the Faculty of Science and Engineering, Kinki University 号 42, p. 73-79, 発行日 2006-09-01 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 03864928 | |||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||
| 内容記述 | Metal-oxide thin films such as CuO, NiO and Fe_2O_3 containing compound Zeolite fabricated by co-evaporation show comparatively low resistance values and exhibit quick humidity responsibility, stability and reproducibility. In this paper, the fabrication method and Zeolite concentration in the film having good humidity characteristics are described. Film resistance in a dried atmosphere reaches stable in a several tens second in a humid atmosphere. To confirm stability, a hundreds times experiment from dried desiccator to hygrostat of 80％ RH was carried out. The results of the XPS analysis suggest that the concentration gradient within the CuO-Zeolite film is a very important factor for fabricating such films with good humidity characteristics. | |||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | 本文データの一部はCiNiiから複製したものである。 | |||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||
