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アイテム
Siウエハの少数キャリア寿命に対する酸化りんゲッタリングの効果
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/8808
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/880840cbd89f-251c-4e24-b900-992805862c01
| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2009-06-04 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Siウエハの少数キャリア寿命に対する酸化りんゲッタリングの効果 | |||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||
| その他のタイトル | Phosphorous Oxide Gettering Effect on Lifetime in Si Wafers | |||||||||||||||||
| 著者 |
藤林, 肇次
× 藤林, 肇次
× 中田, 淳一
× 義井, 弘一
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| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Fujibayashi, Keiji | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Nakata, Junichi | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Yoshii, Hirokazu | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気工学科 | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気工学科 | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 尼崎市役所 | |||||||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学理工学部 | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
近畿大学理工学部研究報告 en : Journal of the Faculty of Science and Technology, Kinki University 号 20, p. 349-352, 発行日 1984-09-01 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 03864928 | |||||||||||||||||
