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アイテム
morphologyの異なる水素化アモルファス シリコン膜の光劣化と焼鈍
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/8576
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/8576f3d0b1ef-f803-4a6c-acbe-c61341114611
| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2009-06-05 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | morphologyの異なる水素化アモルファス シリコン膜の光劣化と焼鈍 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | Optical Degradation and Annealing of Hydrogenated Amorphous Silicon Films with Different Morphology | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
大萩, 秀樹
× 大萩, 秀樹
× 山崎, 基治
× 中田, 淳一
× 今尾, 勝三
× 白藤, 純嗣
× 谷, 功
× 藤林, 肇次
× 犬石, 嘉雄
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| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | a-Si : H, µc-Si : H, optical degradation, Staebler-Wronski effect, annealing, plasma CVD | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Ohagi, Hideki | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Yamazaki, Motoharu | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Nakata, Jun-ichi | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Imao, Shozo | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Shirafuji, Junji | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Tani, Isao | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Fujibayashi, Keiji | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Inuishi, Yoshio | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | (株)日立製作所 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | シヤープ(株) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気工学科 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気工学科 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 大阪大学工学部 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 三菱電機(株) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気工学科 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部電気工学科 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学理工学部 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
近畿大学理工学部研究報告 en : Journal of the Faculty of Science and Technology, Kinki University 号 24, p. 211-218, 発行日 1988-09-01 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 03864928 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
