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アイテム
有機金属気相成長装置の製作
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/8535
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/853510f9ef04-83ce-4adf-a777-db2532a34fe4
| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2009-06-05 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | 有機金属気相成長装置の製作 | |||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||
| その他のタイトル | Fabrication of Metal Organic Chemical Vapor Deposition Apparatus | |||||||||||||
| 著者 |
宇田, 宏
× 宇田, 宏
× 薗村, 肇
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| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題 | Metal organic chemical vapor deposition | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | Uda, Hiroshi | |||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | Sonomura, Hajimu | |||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部経営工学科 | |||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||
| 値 | 近畿大学理工学部経営工学科 | |||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学理工学部 | |||||||||||||
| 書誌情報 |
近畿大学理工学部研究報告 en : Journal of the Faculty of Science and Technology, Kinki University 号 25, p. 297-302, 発行日 1989-09-01 |
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| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 03864928 | |||||||||||||
