| アイテムタイプ |
☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2011-02-16 |
| タイトル |
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タイトル |
Characteristics of a humidity sensor using a Na-doped hydroxyapatite thin film |
| その他（別言語等）のタイトル |
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その他のタイトル |
Ndドープハイドロキシアパタイト薄膜を用いた湿度センサの特性 |
| 著者 |
Hontsu, Shigeki
Nakamori, Masaya
Nishikawa, Hiroaki
Kusunoki, Masanobu
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| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 著者(英) |
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言語 |
en |
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値 |
本津, 茂樹 |
| 著者(英) |
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言語 |
en |
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値 |
仲森, 昌也 |
| 著者(英) |
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言語 |
en |
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値 |
西川, 博昭 |
| 著者(英) |
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言語 |
en |
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値 |
楠, 正暢 |
| 著者 所属 |
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値 |
Department of Biomedical Engineering, Kinki University |
| 著者 所属 |
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値 |
Kinki University Technical College |
| 著者 所属 |
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値 |
Department of Biomedical Engineering, Kinki University |
| 著者 所属 |
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値 |
Department of Biomedical Engineering, Kinki University |
| 著者所属(翻訳) |
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値 |
近畿大学生物理工学部 医用工学科 |
| 著者所属(翻訳) |
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値 |
近畿大学工業高等専門学校 |
| 著者所属(翻訳) |
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値 |
近畿大学生物理工学部 医用工学科 |
| 著者所属(翻訳) |
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値 |
近畿大学生物理工学部 医用工学科 |
| 版 |
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出版タイプ |
NA |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 |
| 出版者 名前 |
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出版者 |
近畿大学生物理工学部 |
| 書誌情報 |
Memoirs of the Faculty of Biology-Oriented Science and Technology of Kinki University
en : 近畿大学 生物理工学部 紀要
号 26,
p. 87-91,
発行日 2010-09-01
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
13427202 |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
A Na-doped hydroxyapatite (Na-HAp) thin film was prepared on a porous Al_2O_3 substrate using a pulsed laser deposition (PLD) technique. Crystallinity and composition were evaluated by X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive X-ray (EDX) analysis. A humidity sensor was formed by establishing an inter-digital type Au electrode on the Na-HAp film. The humidity-impedance and humidity response of impedance characteristics were measured by an LCR meter. The results indicated that the Na-HAp thin film sensor showed excellent sensitivity and responsiveness to humidity conditions. （和文） パルスレーザーデポジション(PLD)法により、Ndドープハイドロキシアパタイト(Na-HAp)薄膜を多孔質Al_2O_3基板上に成膜した。薄膜の結晶性や組成はX線回折(XRD)およびエネルギー分散型蛍光X線分析(EDX)によって評価した。Na-HAp薄膜上にインターデジタル型の金電極を設けて、湿度センサとした。インピーダンスの湿度による変化と、湿度応答性をLCRメータにより測定した。その結果、薄膜センサは湿度に対して優れた感度と応答性を示した。 |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
This study was partially supported by the Project Research of the Faculty of Biology Oriented Science and Technology No.09-IV, 2009 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
AA11153712-20100930-0087.pdf (996.8 kB)
