WEKO3
アイテム
Characteristics of a humidity sensor using a Na-doped hydroxyapatite thin film
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/5728
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/5728fc16d621-a753-49d9-a780-c88a6c2577e4
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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AA11153712-20100930-0087.pdf (996.8 kB)
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| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2011-02-16 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | Characteristics of a humidity sensor using a Na-doped hydroxyapatite thin film | |||||||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | Ndドープハイドロキシアパタイト薄膜を用いた湿度センサの特性 | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
Hontsu, Shigeki
× Hontsu, Shigeki
× Nakamori, Masaya
× Nishikawa, Hiroaki
× Kusunoki, Masanobu
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| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | 本津, 茂樹 | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | 仲森, 昌也 | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | 西川, 博昭 | |||||||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 値 | 楠, 正暢 | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | Department of Biomedical Engineering, Kinki University | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | Kinki University Technical College | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | Department of Biomedical Engineering, Kinki University | |||||||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | Department of Biomedical Engineering, Kinki University | |||||||||||||||||||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学生物理工学部 医用工学科 | |||||||||||||||||||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学工業高等専門学校 | |||||||||||||||||||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学生物理工学部 医用工学科 | |||||||||||||||||||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 近畿大学生物理工学部 医用工学科 | |||||||||||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学生物理工学部 | |||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
Memoirs of the Faculty of Biology-Oriented Science and Technology of Kinki University en : 近畿大学 生物理工学部 紀要 号 26, p. 87-91, 発行日 2010-09-01 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 13427202 | |||||||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | A Na-doped hydroxyapatite (Na-HAp) thin film was prepared on a porous Al_2O_3 substrate using a pulsed laser deposition (PLD) technique. Crystallinity and composition were evaluated by X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive X-ray (EDX) analysis. A humidity sensor was formed by establishing an inter-digital type Au electrode on the Na-HAp film. The humidity-impedance and humidity response of impedance characteristics were measured by an LCR meter. The results indicated that the Na-HAp thin film sensor showed excellent sensitivity and responsiveness to humidity conditions. （和文） パルスレーザーデポジション(PLD)法により、Ndドープハイドロキシアパタイト(Na-HAp)薄膜を多孔質Al_2O_3基板上に成膜した。薄膜の結晶性や組成はX線回折(XRD)およびエネルギー分散型蛍光X線分析(EDX)によって評価した。Na-HAp薄膜上にインターデジタル型の金電極を設けて、湿度センサとした。インピーダンスの湿度による変化と、湿度応答性をLCRメータにより測定した。その結果、薄膜センサは湿度に対して優れた感度と応答性を示した。 | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | This study was partially supported by the Project Research of the Faculty of Biology Oriented Science and Technology No.09-IV, 2009 | |||||||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||||||
