WEKO3
アイテム
Nanometer-scale Lithography of Gold Film Sputtered on Silicon Wafer Using Atomic Force Microscope
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/5587
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/55876fc007ce-671f-46f5-a639-a095e7e47525
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
AA11153712-20020228-0005.pdf (2.5 MB)
|
|
| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-05-01 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Nanometer-scale Lithography of Gold Film Sputtered on Silicon Wafer Using Atomic Force Microscope | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||
| その他のタイトル | 原子間力顕微鏡を用いたシリコンウエハー金蒸着膜へのナノメータースケールのパターン加工 | |||||||||||||||||
| 著者 |
水谷, 勝己
× 水谷, 勝己
× 江頭, 快
× 大岡, 正典
|
|||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Mizutani, Katsumi | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Egashira, Kai | |||||||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 値 | Ooka, Masanori | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | Department of Mechanical Engineering, Kinki University | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | Department of Mechanical Engineering, Kinki University | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | Department of Mechanical Engineering, Kinki University | |||||||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学生物理工学部 | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
近畿大学生物理工学部紀要 en : Memoirs of the School of Biology-Oriented Science and Technology of Kinki University 号 9, p. 5-14, 発行日 2002-02-01 |
|||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 13427202 | |||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||
