@techreport{oai:kindai.repo.nii.ac.jp:00003223,
 author = {楠,  正暢 and 三木,  茂人 and 岡井,  大祐},
 month = {Jan},
 note = {研究成果の概要（和文）：量子暗号通信のキーデバイスである単一光子検出器として、高温超伝導体でナノワイヤーを実現するための要素技術についての研究を行った。高温超伝導材料にはYBa_2Cu_3O_y (YBCO)を用いて実験を行い、Pt/Auのキャップ層を持つYBCO膜で、250回折り返された、全長約25mm、幅200nmのメアンダ型ナノワイヤーを100×100μm四方の領域に形成できることを示した。また、YBCOエッチング時に試料ステージを液体窒素冷却することにより、プラズマ衝撃による劣化の影響を抑制し、幅200nm、長さ1μmのワイヤーで超伝導電流を確認した。さらに、YBCOと単結晶基板のヘテロ界面近傍における格子不整合について検討し、 20nmの膜厚でも80K以上の臨界温度(T_c)を持つYBCO膜の作製に成功した。一方、80～10nmの範囲で膜厚とT_cの関係を調べ、実効的に膜厚10nm以下の特性を有する高温超伝導ナノワイヤー実現の可能性を示し、その方法について述べた。            研究成果の概要（英文）：We studied elemental technologies to develop HTS (high temperature superconducting) nano-wire as a key device “single photon detector” for the quantum cryptographic communication. Experiments were carried out using YBa_2Cu_3O_y (YBCO). It was shown that a 200-nm-wide and 25-mm-long nano-wire could be constructed in a 100μm ×100μm square by using a 250-turns-meandering configuration. We examined how to suppress superconductivity degradation in the nano-wire during plasma etching processes. Liquid N_2 cooling to a sample stage was effective to prevent the degradation from ion bombardments of plasma etching. As a result, superconducting current was observed for a 200-nm-wide and 1-m-long nano-wire. We also investigated lattice mismatching at a hetero-epitaxial surface between YBCO and single crystal substrate. Then, YBCO thin film with only 20 nm thickness showed critical temperature (T_c) over 80 K. On the other hand, a T_c dependence on the YBCO thickness was examined from 80 nm to 10 nm. It produced a possibility to realize very thin HTS nano-wire with effective thickness less than 10 nm., 研究種目：基盤研究（C）;  研究期間：2009 ～ 2011;   課題番号：21560455;   研究分野：工学;   科研費の分科・細目：計測工学, application/pdf},
 title = {高温・高速・高感度動作を実現する単一光子検出器に関する研究},
 year = {2011},
 yomi = {クスノキ, マサノブ and ミキ, シゲヒト and オカイ, ダイスケ}
}