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アイテム
インバースモデリングによる半導体中の不純物拡散モデルパラメータの最適化
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/12918
https://kindai.repo.nii.ac.jp/records/12918740b8e9c-5f2a-4669-9433-7bd7f56455e9
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
AA12315376-20071201-0029.pdf (4.9 MB)
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| Item type | ☆紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2014-11-10 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | インバースモデリングによる半導体中の不純物拡散モデルパラメータの最適化 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Optimization of Impurity Diffusion Parameters by Levenberg-Marquard method and Genetic Algorithm | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 著者 |
西, 謙二
× 西, 謙二
× 髙嶋, 航大
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| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題 | Diffusion, Silicon, Inverse modeling, Optimization, Genetic Algorithm | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | NISHI, Kenji | |||||||||||||
| 著者(英) | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | TAKASHIMA, Koudai | |||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||
| 値 | 近畿大学工業高等専門学校総合システム工学科電気情報系 | |||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||
| 値 | 筑波大学大学院 | |||||||||||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||||||||||
| 値 | Kinki University Technical College | |||||||||||||
| 著者所属(翻訳) | ||||||||||||||
| 値 | University of Tsukuba | |||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| 出版者 名前 | ||||||||||||||
| 出版者 | 近畿大学工業高等専門学校 | |||||||||||||
| 書誌情報 |
近畿大学工業高等専門学校研究紀要 en : Research reports Kinki University Technical College 巻 1, 号 1, p. 29-35, 発行日 2007-12-01 |
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| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 18824374 | |||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | [Abstract] Optimization of impurity diffusion parameters in silicon.is investigated. Number of parameters is four by using Fair's diffusion model. Levenberg-Marquard (LM) method and genetic algorithm (GA) are studied. Using LM method after sufficient optimization by GA yields always stable and good results with sacrifice of enormous computation time. A new method is proposed which repeats only two-generation of GA and LM. The new method yields much smaller computation time without losing optimization accuracy. | |||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||
